​YAMAMOTO-MS山本镀金 晶圆电镀设备 空气泵
YAMAMOTO‑MS 山本镀金硅晶圆电镀设备，除腔体夹具、搅拌过滤单元之外，还配置空气泵 A‑63‑M202、B‑92‑M10‑P04A、空气过滤器 A‑52‑P18、涂层加热器 A‑52‑ST2‑P10WJ、B‑85WJ、B‑83WJB2B‑95‑1A 等辅助部件.

YAMAMOTO‑MS 山本镀金 气路、温控及辅助功能组件深度分析

YAMAMOTO‑MS 山本镀金硅晶圆电镀设备，除腔体夹具、搅拌过滤单元之外，还配置空气泵 A‑63‑M202、B‑92‑M10‑P04A、空气过滤器 A‑52‑P18、涂层加热器 A‑52‑ST2‑P10WJ、B‑85WJ、B‑83WJB2B‑95‑1A 等辅助部件，共同构建温度稳定、气源洁净的完整电镀工艺环境，温度、气源参数稳定，是保障硅晶圆电镀镀层重复性、一致性的基础条件。

YAMAMOTO-MS山本镀金 晶圆电镀设备 空气泵

空气泵 A‑63‑M202、B‑92‑M10‑P04A 为槽内药液鼓泡、药液循环提供气源动力；空气过滤器 A‑52‑P18 对输入压缩空气完成净化过滤，滤除空气中油污、粉尘杂质，避免污染物带入电镀药液造成药液污染；涂层加热器 A‑52‑ST2‑P10WJ、B‑85WJ、B‑83WJB2B‑95‑1A 采用防腐涂层加热结构，直接接触电镀药液，耐各类酸碱电镀液腐蚀，实现药液恒温加热，精准控制电镀工艺温度，温度稳定可控，减少温度漂移带来镀层性能波动，规避普通加热器被电镀药液腐蚀溶出杂质污染槽液的问题。整套辅助部件协同运行，稳定工艺环境参数，让每一批硅晶圆电镀实验数据具备可复现性。

YAMAMOTO-MS山本镀金 晶圆电镀设备 空气泵

应用行业领域：半导体研发实验室、微电子*封装研发、电化学材料实验室、高校硅材料科研平台。

对应工艺场景：电镀药液恒温控温工艺；电镀槽鼓泡搅拌气源供给与气源净化工艺；硅晶圆电镀整套工艺环境搭建工艺；电镀工艺条件对比实验；设备维护备件替换工艺。

北崎现货，原厂拿货，可提供加热器功率匹配、气路装配调试技术支持。

YAMAMOTO-MS山本镀金 硅晶圆电镀设备

硅晶圆槽

A-52-ST-P01A

硅晶圆阴极芯

A-52-ST-P02A

硅晶圆阳极座

A-52-ST-P09A

微型过滤器

B-90-A20-APFA05

B-90-A40-APFWJ05

拨片搅拌器

A-52-ST-P04D

空气泵

A-63-M202

B-92-M10-P04A

空气过滤器

A-52-P18

涂层加热器

A-52-ST2-P10WJ

B-85WJ

B-83WJB2B-95-1A