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苏州珂玛材料|半导体*陶瓷静电卡盘制造企业

更新时间:2026-08-18      浏览次数:119
苏州珂玛材料|半导体*陶瓷静电卡盘制造企业

苏州珂玛材料|半导体*陶瓷静电卡盘制造企业

苏州珂玛材料科技股份有限公司是国内半导体精密陶瓷企业,专注半导体静电卡盘、陶瓷加热器、碳化硅精密组件、氮化铝陶瓷结构件的研发与量产。公司产品全面适配8英寸、12英寸晶圆制造产线,广泛配套刻蚀、PVD、CVD等核心半导体工艺设备,搭建起氧化铝、氮化铝、碳化硅全材料体系,具备陶瓷成型、高温烧结、超精密研磨、表面功能涂层一体化量产能力,产品已批量导入国内头部半导体设备厂商与晶圆制造企业。
静电卡盘作为晶圆承载核心部件,生产工艺管控标准严苛。氮化铝、氧化铝陶瓷基板精加工、沟槽蚀刻、表面镀膜工序,需精准控制夹持力度与定位精度,通过专业工装平衡加工应力,避免脆性陶瓷基材产生形变、崩损,保障晶圆承载面平面度与吸附均匀性达标。成品加工完成后,借助高均匀度光学检测设备完成全维度外观筛查,精准识别表面微粒、抛光瑕疵、涂层不均等缺陷。生产实验室配套耐腐蚀洁净耗材,用于陶瓷浆料、清洗药剂、研磨介质的储存与配比,满足半导体高洁净生产标准。

公司持续迭代陶瓷烧结与超精密加工工艺,不断优化静电卡盘耐高温、高绝缘、均匀吸附性能,稳步扩大国产精密陶瓷零部件产能,深度推进半导体核心零部件进口替代。北崎国际贸易(北京)有限公司供应精密夹持工装、半导体专用检测光源、洁净耗材,北崎现货,适配陶瓷零部件量产产线配套。



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