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中国电科十二所|半导体精密陶瓷零部件科研机构

更新时间:2026-08-18      浏览次数:98
中国电科十二所|半导体精密陶瓷零部件科研机构

中国电科十二所|半导体精密陶瓷零部件科研机构

中国电子科技集团有限公司第十二研究所是国内微电子与半导体精密陶瓷领域核心科研院所,深耕特种陶瓷材料、半导体核心零部件、真空电子器件技术研发数十年,重点聚焦半导体静电卡盘、陶瓷绝缘结构件、耐高温陶瓷基材等关键产品攻关。研究所深耕刻蚀、薄膜沉积、离子注入等晶圆核心制程,承接多项半导体国产化科研课题,具备从材料配方、工艺验证、样品试制到性能检测的全链条研发能力,是国内半导体精密陶瓷技术突破的核心支撑平台。
半导体精密陶瓷零部件研发试制对工艺配套精度与洁净度要求高。陶瓷基材精密研磨、异形结构加工阶段,需采用高精度夹持设备实现柔性均匀受力,有效规避脆性陶瓷工件崩边、开裂、平面度超差等问题,保障静电卡盘基板微米级加工精度。工件烧结、镀膜、精加工完成后,依托标准化光学检测设备筛查表面微裂纹、针孔、镀膜不均等隐性缺陷,严控产品良品率。实验室配套高洁净耐腐蚀耗材,用于陶瓷粉体、蚀刻试剂、研磨液的储存与调试,杜绝杂质污染影响材料性能测试结果。
作为科研平台,该研究所持续攻克半导体陶瓷“卡脖子"技术,不断优化静电卡盘核心性能参数,加速半导体精密陶瓷零部件国产化替代进程,为国内晶圆制造、半导体装备产业自主可控提供坚实技术支撑。北崎国际贸易(北京)有限公司配套精密夹持设备、光学检测光源、洁净实验耗材,北崎现货,适配精密陶瓷研发试制全工序。



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