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日本 RGL JOINT 液体流量计,半导体与 FPD 湿法工艺流体监测应用解析
在半导体制造设备、FPD 显示面板制造的湿法工艺链路中,药液、超纯水流量稳定性直接左右蚀刻速率、清洗效果与成品良率,日本 RGL JOINT 液体流量计凭借耐药液腐蚀、小型集成化的产品特性,成为设备配套里重要的流体监测元器件株式会社リ...。半导体制造的蚀刻工序,药液供给管路流量波动会造成晶圆蚀刻均匀度偏差,设备清洁装置循环水路同样需要持续监控流量状态,规避管路堵塞、供液不足带来的工艺异常。
北崎-日本RGL JOINT 液体流量计/半导体
RGL JOINT 流量计接液部位可选用氟树脂材质,金属离子析出少,适配超纯水、各类弱酸碱清洗药液,能够在蚀刻设备、晶圆清洗装置内部狭小空间完成安装,对管路直管段要求较低,适配设备紧凑化设计需求。
北崎-日本RGL JOINT 液体流量计/半导体
FPD 制造设备生产流程中,面板清洗装置、冷却管线回路是流量计主要落地场景,面板清洗工序依靠稳定纯水流量剥离表面颗粒杂质,冷却管线持续管控循环冷却水流量,保障设备热负载处于合理区间,避免温度漂移影响显示面板加工精度。流量计支持多路歧管集成方案,可以实现多管路同步流量采集,输出脉冲、开关信号对接设备 PLC 控制系统,流量偏离工艺区间时输出报警信号,实现工艺联锁保护,降低设备故障风险。
除半导体、FPD 行业之外,该款流量计也适配水处理设备、各类冷却设备工况,用于循环水、工艺给水流量监测。北崎日本原厂拿货,一手渠道供应 RGL JOINT 全系列液体流量计,可提供选型参考,覆盖半导体蚀刻、设备清洗、FPD 清洗冷却、水处理冷却多场景配套需求,便于设备厂商、科研机构完成流体监测方案搭建。
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