北崎-超高真空控制闸阀 材料科研
北崎国际一手渠道直供,瑞士VAT 653系列超高真空控制闸阀（65340-JAAE、65340-JAAF、65340-JAAH、65340-JAAK、65340-JAAN、65340-JAAQ、65340-JAAX、65340-JACE）专为超高真空精密制程研发，是超高真空系统压力调控与腔体隔离的核心专用阀件。

超精密真空工艺标配｜瑞士VAT 653系列超高真空控制闸阀技术优势与落地场景

半导体*制程、MEMS微纳加工、光学镀膜、前沿材料科研等场景，对真空环境洁净度、密封性、压力控制精度有着要求，常规高真空阀门无法满足10⁻¹⁰ mbar级超高真空工况需求。瑞士VAT 653系列超高真空控制闸阀（65340-JAAE、65340-JAAF、65340-JAAH、65340-JAAK、65340-JAAN、65340-JAAQ、65340-JAAX、65340-JACE）专为超高真空精密制程研发，是超高真空系统压力调控与腔体隔离的核心专用阀件。

北崎-超高真空控制闸阀 材料科研

该系列闸阀工作压力覆盖1×10⁻¹⁰ mbar至1.6 bar绝对压力，达到行业超高真空等级标准，阀体采用超洁净精密加工工艺，全程无油污、无杂质残留，适配半导体*制程的纳米级洁净要求。依托优化的闸板节流结构与闭环PID智能控制算法，可实现微小开度精准调节，精准管控超高真空腔体气流通量，抑制微压力扰动，保障薄膜沉积、刻蚀、离子注入等精密工艺的稳定性与一致性。

北崎-超高真空控制闸阀 材料科研

设备延续VAT专属锁紧密封结构，闭合状态下可实现无泄漏隔离，杜绝外界微气体渗入腔体，规避晶圆、微纳器件污染报废问题。步进电机驱动系统响应快速、运行平稳，无动作卡顿、开度漂移问题，适配设备7×24小时不间断连续作业。多型号差异化参数设计，可匹配不同腔体容积、工艺气体、压力调节精度需求，广泛应用于半导体*制程设备、超高真空分析仪器、激光光学器件制备、二维材料科研实验装置。

超高真空工艺的品质稳定性，核心依赖阀件的密封精度与调控性能。VAT 653系列超高真空闸阀凭借严苛的工艺标准与长期运行稳定性，成为真空设备的标配部件。北崎国际一手渠道直供全系列VAT 65340超高真空控制闸阀，原厂*保障，可提供精密工况选型、工艺适配调试等专业技术服务。