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TORAY 东丽 LC-450A 氧气分析仪是面向半导体真空制程、科研惰性环境研发的在线氧浓度监测设备,承袭东丽成熟氧化锆检测核心技术,针对密闭腔体、真空管路微量氧气检测优化调校,广泛应用于晶圆镀膜、真空热处理、手套箱氛围管控等场景,精准把控腔内氧含量,避免氧气杂质破坏精密工艺生产条件。
北崎现货-TORAY东丽 氧气分析仪/半导体真空
仪器测量区间宽泛,微量氧检测精度出色,温湿度、气压波动带来的数据干扰被大幅削减,可在常压至低负压区间稳定运转,无需搭建繁琐取样回路,直插式布设方式能够杜绝管路渗漏引发的检测偏差,数值可信度更高。
整机一体化机身小巧紧凑,壁挂式安装便捷,节省机柜与现场安装空间,正面数字显示屏实时展示氧浓度数值,查看直观清晰。设备搭载多路工业标准信号输出,可顺畅接入 PLC 工控系统、数据采集终端,便于产线自动化联动管控。
北崎现货-TORAY东丽 氧气分析仪/半导体真空
适配多款东丽原厂插入式传感探头,可依据腔体口径、工况温度灵活选配,传感器耐腐蚀、抗油气沾染,使用寿命持久,后期仅需更换探头即可完成维保,使用成本经济实惠。
北崎国际,常备现货货源,供货时效稳定,可承接半导体工厂批量采购以及高校科研设备申购,同步提供专业选型指导,满足各类真空场景氧气持续监测需求。
| 形状 | 桌面/面板安装类型 |
|---|---|
| 代表性 | 数字四位数字显示(密度显示) |
| 测量范围 | 0.1ppm~100vol%O2 |
| 测量范围 | 显示:自动测距或4调配置 记录仪表:0-10/100/1000ppm/100% 你可以自由组合低于该数值的范围。 1/10/100/1000/10000ppm 1/10/100%,10-20~10-0ATM *0~1ppm 区间,ATM 区间为参考值(不保证) |
| 抽样方法 | 带内置泵的连续吸气式 |
| 供气体积 | 1000~2000毫升/分钟 |
| 传感器段气体体积 | 60±10毫升/分钟 |
| 燃气连接口 | 进气口(样品气体入口) Rc1/4 旁通出口(旁通出口) Rc1/4 出口(样品气体出口) Rc1/4 |
| 比较气体 | 大气 |
| 形状 | 210(西)×134(H)×300(D)( 单位:毫米,不包括突出部) |
| 质量 | 大约6公斤 |
| 油漆颜色 | 哑光处理(黑色) |
| 可重复性 | ±1% FS:0~10ppm范围或更高 (0~1ppm以下范围不保证) |
|---|---|
| 气点稳定性 | ±1%的FS/24小时内 |
| 气体响应性 | 30秒内(90%响应率) |
| 录音输出 | 外部输出:4~20 mA 或 0~20mA (0~10V 可选) |
|---|---|
| 传输输出 | 符合RS-232C标准(单向) |
| 接触输出 | 设备异常(无电压接触) 集中 报警:可从HH、H、L、LL 两个点选择;预热信号(无电压接触); 接点容量:交流/直流30V,0.5A或以下(电阻负载) |
| 距离标记输出 | 双点输出(非电压接触) 接触 电容:交流/直流30V,0.3A或以下(电阻负载) |
| 自我诊断功能 | 传感器温度异常、校准异常、机器内部温度异常、 CPU异常、炉子温度异常、预热异常、 非对称势异常、传感器电阻异常、空气点校准异常 、SPAN点校准异常 |
| 样品气体条件 | 不含易燃成分、卤素、硅、腐蚀性物质或水滴 压力:压力低于29.4kPa 流量:1,000~2,000毫升/分钟 温度:0~50°C 湿度 :露点低于环境温度 |
| 热身时间 | 6分钟内 |
| 电源 | 电源:交流100V~240V 功耗:50VA(恒定容量:35VA) |
| 安装条件 | 安装地点:室内,非防爆区域 环境温度:0~40°C 环境湿度:20~85% 相对湿度(无冷凝) 无易燃成分、卤素、硅质或腐蚀性物质。 |
| 选项 | 活性炭过滤器、 棉质过滤器、 硅过滤器 |
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