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北崎现货-TORAY东丽 氧气分析仪/半导体真空
  • 产品型号:LC-450A
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2026-08-30
  • 访  问  量:90
简要描述:

北崎现货-TORAY东丽 氧气分析仪/半导体真空
TORAY 东丽 LC-450A 氧气分析仪是面向半导体真空制程、科研惰性环境研发的在线氧浓度监测设备,承袭东丽成熟氧化锆检测核心技术,针对密闭腔体、真空管路微量氧气检测优化调校,广泛应用于晶圆镀膜、真空热处理、手套箱氛围管控等场景,精准把控腔内氧含量,避免氧气杂质破坏精密工艺生产条件。

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产品详情

TORAY 东丽 LC-450A 氧气分析仪是面向半导体真空制程、科研惰性环境研发的在线氧浓度监测设备,承袭东丽成熟氧化锆检测核心技术,针对密闭腔体、真空管路微量氧气检测优化调校,广泛应用于晶圆镀膜、真空热处理、手套箱氛围管控等场景,精准把控腔内氧含量,避免氧气杂质破坏精密工艺生产条件。

北崎现货-TORAY东丽 氧气分析仪/半导体真空

仪器测量区间宽泛,微量氧检测精度出色,温湿度、气压波动带来的数据干扰被大幅削减,可在常压至低负压区间稳定运转,无需搭建繁琐取样回路,直插式布设方式能够杜绝管路渗漏引发的检测偏差,数值可信度更高。

整机一体化机身小巧紧凑,壁挂式安装便捷,节省机柜与现场安装空间,正面数字显示屏实时展示氧浓度数值,查看直观清晰。设备搭载多路工业标准信号输出,可顺畅接入 PLC 工控系统、数据采集终端,便于产线自动化联动管控。

北崎现货-TORAY东丽 氧气分析仪/半导体真空

适配多款东丽原厂插入式传感探头,可依据腔体口径、工况温度灵活选配,传感器耐腐蚀、抗油气沾染,使用寿命持久,后期仅需更换探头即可完成维保,使用成本经济实惠。

北崎国际,常备现货货源,供货时效稳定,可承接半导体工厂批量采购以及高校科研设备申购,同步提供专业选型指导,满足各类真空场景氧气持续监测需求。

设备规格

形状桌面/面板安装类型
代表性数字四位数字显示(密度显示)
测量范围0.1ppm~100vol%O2
测量范围显示:自动测距或4调配置
记录仪表:0-10/100/1000ppm/100%
你可以自由组合低于该数值的范围。
1/10/100/1000/10000ppm
1/10/100%,10
-20~10-0ATM
*0~1ppm 区间,ATM 区间为参考值(不保证)
抽样方法带内置泵的连续吸气式
供气体积1000~2000毫升/分钟
传感器段气体体积60±10毫升/分钟
燃气连接口进气口(样品气体入口) Rc1/4
旁通出口(旁通出口) Rc1/4
出口(样品气体出口) Rc1/4
比较气体大气
形状210(西)×134(H)×300(D)(
单位:毫米,不包括突出部)
质量大约6公斤
油漆颜色哑光处理(黑色)

特色

可重复性±1% FS:0~10ppm范围或更高
(0~1ppm以下范围不保证)
气点稳定性±1%的FS/24小时内
气体响应性30秒内(90%响应率)

工程规格

录音输出外部输出:4~20 mA 或 0~20mA
(0~10V 可选)
传输输出符合RS-232C标准(单向)
接触输出设备异常(无电压接触) 集中
报警:可从HH、H、L、LL
两个点选择;预热信号(无电压接触);
接点容量:交流/直流30V,0.5A或以下(电阻负载)
距离标记输出双点输出(非电压接触) 接触
电容:交流/直流30V,0.3A或以下(电阻负载)
自我诊断功能传感器温度异常、校准异常、机器内部温度异常、
CPU异常、炉子温度异常、预热异常、
非对称势异常、传感器电阻异常、空气点校准异常
、SPAN点校准异常
样品气体条件不含易燃成分、卤素、硅、腐蚀性物质或水滴
压力:压力低于29.4kPa
流量:1,000~2,000毫升/分钟
温度:0~50°C 湿度
:露点低于环境温度
热身时间6分钟内
电源电源:交流100V~240V
功耗:50VA(恒定容量:35VA)
安装条件安装地点:室内,非防爆区域
环境温度:0~40°C
环境湿度:20~85% 相对湿度(无冷凝)
无易燃成分、卤素、硅质或腐蚀性物质。
选项活性炭过滤器、
棉质过滤器、
硅过滤器


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