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TORAY 东丽 MS-500 与 MS-510 两款氧气分析仪，专为半导体真空腔体、镀膜工艺、惰性气氛密闭空间打造，依托氧化锆浓差电池检测原理，可在线持续监测腔内氧气含量，有效规避微量氧杂质影响精密制程成品良率，也是各大科研院校真空实验平台常用氧浓度管控设备。两款主机性能各有侧重，MS-500 适配常规真空工况基础监测，性价比突出；MS-510 经过硬件升级，抗干扰能力更强，量程调节范围更广，可满足长时间不间断工业量产线运行需求。
北崎-TORAY东丽 氧气分析仪传感器
主机可灵活搭配 SD16NW、SD25NW、SD40NW 三款插入式氧气传感器，不同尺寸探头适配各异管路口径与腔体安装条件，探头耐高温、抗工艺粉尘与微量腐蚀性气体侵蚀，真空环境下密封性优异，不会出现漏气泄压问题，测量数据稳定不易漂移。整套设备搭载数字可视化读数界面，配备通用工控信号输出接口，可对接产线控制系统实现数据留存与联动调控，探头损耗后可单独更换，无需整台设备更替，运维成本更低。
北崎-TORAY东丽 氧气分析仪传感器
北崎国际日本原厂直采，全系机型及配套传感探头均有现货，适配半导体真空工艺、实验室真空系统采购需求，供货周期稳妥，可提供选型对接与整套真空氧监测方案配套服务。
| 类型 | 控制器：MS-500 转换器：MS-510 传感器：SD16NW/SD25NW/SD40NW |
|---|---|
| 测量点数量 | 最多8个点（检测部分每个测量点需一组） |
| 测量方法 | 锆氧浓度电池类型 |
| 显示范围 | 0.001ppm~100% |
| 安装条件 | 安装地点：室内，非防爆区域 环境温度：控制器/转换器：0~40°C 传感器 单元：0~50°C 环境湿度：35~80% 相对湿度（无冷凝 ） 安装温度：控制器/转换器：0~40°C 传感器 单元：0~100°C 不含易燃成分、卤素、硅和腐蚀性物质 |
| 尺寸 | 92W×44H×120D（毫米） |
|---|---|
| 质量 | 大约0.6公斤 |
| 安装方法 | 使用M3螺丝安装面板 |
| 电源 | 电源：DC24V，0.3A |
| 集中表示 | 自动测距 数字四位数显示（集中显示） 通过自动测距开关显示 ： 0-1/10/100/1000ppm/1/100/100% |
| 通信输出规范 | 通信方式：单向，符合RS-232C标准，D-sub 9针（引脚接触） 传输 速度：9,600/19,200/38,400 bps 局域网连接：可选 |
| 选项 | 局域网输出（传输输出） |
| 尺寸 | 转换器：100（W）×40（H）×88（D）（单位：毫米，不包括突出物） 传感器 ：总长度100（单位：毫米） |
|---|---|
| 质量 | 转换器：约0.5公斤， 传感器：约0.3公斤 |
| 安装方法 | 转换器：用M3螺丝固定在平面上; 传感器：ISO真空法兰竞争型 |
| 连接 | 转换器~传感器之间的连接通过专用线缆连接。 标准长度2米，最大10米 |
| 热身时间 | 6分钟内 |
| 电源 | 电源：DC24V，2A 功耗：60VA（恒定容量：15VA） |
| 可重复性 | 0~1%范围或更高：±0.5%FS或以下;低于 0~1%范围：±1.0%FS或±0.1ppm，取较大 者。*低于0~1ppm范围不涵盖 |
| 气点 稳定性 | ± 1.0%或以下的FS/24小时 |
| 样品条件 | 请勿在恢复后的环境下使用。 此外，如果测得气体的比热较高，比如氦浓度高，可能无法使用。 温度：0~100°C 压力 ：10-3Pa~200kPa（绝对压力） 湿度 ：露点低于环境温度 流量：0.5 ~ 5 L/min 或 0 L/min（在自然扩散条件下测量） |
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