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TORAY 东丽 LD-600/SD 氧气分析仪作为品牌升级款分体式氧浓度监测设备，由 SD 系列传感探头搭配 LD-600 变送控制器配套组成，依托成熟氧化锆检测技术，广泛适配半导体工艺制程、高校科研实验室、惰性气体密闭腔体等严苛使用场景，是微量氧气在线监测的主流选型。
代理-TORAY东丽 氧气分析仪/半导体 科研
仪器可精准检测宽泛氧含量区间，针对低浓度微量氧优化调校，测量线性度佳，抗环境温湿度干扰能力强，常压及微负压环境均可稳定作业，无需复杂前置取样装置，探头直接布设至监测点位，杜绝取样管路漏气造成的数据失真，保障检测数值精准可靠。
代理-TORAY东丽 氧气分析仪/半导体 科研
分体式设计适配复杂设备布局，传感器可置于高温、密闭工艺腔体内，控制主机壁挂安装于操作区域，线缆可按需延长布设，规避恶劣环境损伤主机。设备搭载高清数字显示面板，读数清晰直观，多路标准化信号输出端口，可无缝衔接工控 PLC、数据记录仪，方便整套产线集成管控。传感元件耐腐蚀、抗氧化损耗，使用寿命长久，日常运维简便，综合使用成本更低。
北崎国际为日本原厂直供渠道，现货常备，货源稳定，可承接科研院所小样采购与半导体工厂批量订货需求，全程提供选型咨询与供货配套服务，满足各类精密场景持续控氧监测使用所需。
| 形状 | 独立类型（转换器：固定/墙挂式，传感器：直接插头） | |
|---|---|---|
| 代表性 | 无显示 | |
| 测量范围 | 0.001ppm~100%（10-20~10-0ATM设置为可选） 浮点输出（ppm） | |
| 传感器连接 | ISO真空法兰NW16、25、40或 R3/8螺纹 | |
| 连接 | 转换器~传感器之间的连接通过专用线缆连接。 标准长度2米，最大10米 | |
| 比较气体 | 大气 | |
| 质量 | 转换器 | LD-600：约0.8公斤 |
| 传感器 | SD16NW：约0.2公斤 SD25NW：约0.2公斤 SD40NW：约0.35公斤 | |
| 外部尺寸 | 转换器 | LD-600：65（W）×130（H）×125（D）（ 单位：毫米，不包括突出物） |
| 传感器 | SD16NW：全长100毫米（感应段φ11×39，机身段φ40×51） SD25NW ：全长100毫米（感应段φ11×42，机身段φ40×48） SD40NW ：全长100毫米（感应段φ11×41，机身段φ40×49）（ 单元：毫米，不包括突出部分） 注意：传感器单元可根据客户对每个检测单元的规格选择SD16NW、SD25NW或SD40NW。 | |
| 可重复性 | 0~1%范围或更高：±0.5%FS或以下;低于 0~1%范围：±1.0%FS或±0.1ppm，取较大 者。*低于0~1ppm范围不涵盖 |
|---|---|
| 气点稳定性 | ± 1% 或更低的自由服务 / 24小时 |
| 热身时间 | 6分钟内 |
| 通信输出规范 | 通信方式：EtherCAT I/F（ETG 5003.1，符合ETG5003.2） 配置文件：通用设备配置文件 协议：ETG 5003.1 CDP 支持（CoE，FoE） |
|---|---|
| 样品气体条件 | 请勿在恢复后的环境下使用。 此外，如果测得气体的比热升高，比如氦浓度高，可能无法使用。 温度：0~100°C 压力 ：10-3Pa~200kPa（绝对压力） 湿度 ：露点低于环境温度 流量：0.5~5升/分钟或0升/分钟（在自然扩散条件下测量） |
| 热身时间 | 6分钟内 |
| 电源 | 电源：DC24V，3A 功耗：80VA（恒定容量下30VA） |
| 安装条件 | 安装地点：室内，非防爆区域 环境温度：转换器：0~40°C 传感器 单元：0~50°C 环境 湿度：35~80% RH（无冷凝） 安装温度：转换器：0~40°C 传感器单元：0~100°C 易燃组件， 不含卤素、二氧化硅或腐蚀成分 |
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