北崎 原装SCREEN斯库林 晶圆清洗机 SCREEN成熟槽式批量清洗工艺架构，适配150mm、200mm标准晶圆制程，可稳定完成光刻胶剥离、表面颗粒去除、酸碱蚀刻清洗、纯水漂洗、热风干燥全流程工艺，是中小半导体产线、科研实验室、封装测试车间的标配湿法设备。FC-3100采用多槽模块化布局，工艺槽位可根据实际生产需求自由组合排布，酸洗槽、漂洗槽、慢提拉干燥槽可灵活搭配，设备适配性强。

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