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Toho Titanium 4N5(99.995%)高纯度钛 半导体溅射靶材超高纯钛 简介

更新时间:2026-09-09      浏览次数:75

Toho Titanium 东邦钛业 4N5(99.995%)高纯度钛 半导体溅射靶材基材超高纯钛材料

Toho Titanium 东邦钛业 4N5(99.995%)高纯度钛 半导体溅射靶材基材超高纯钛材料

Toho Titanium 东邦钛业 4N5 高纯度钛,钛纯度 99.995%,金属杂质与气体杂质含量控制在极低水平,依托专用 EB 电子束精炼炉制备,可加工为高纯钛锭、高纯钛坯,是半导体溅射钛靶核心基材。产品氧含量低,杂质元素 ppm 级管控,满足半导体薄膜制备严苛材料标准。

4N5 高纯钛采用高等级海绵钛作为原料,在专用真空电子束炉多次精炼,严控铁、镍、铬、氧等杂质。材料晶粒组织可控,靶材加工后镀膜稳定性高,薄膜均匀性好,适合 DRAM 等存储芯片、逻辑器件金属化薄膜制备。材料洁净度高,镀膜过程不易产生颗粒污染。

核心应用为半导体行业高纯钛溅射靶材基材,也用于电子真空器件、特种分析仪器零部件。4N5 高纯钛是*半导体制造的关键基础材料。北崎国际东邦钛原厂一手渠道,可提供 4N5 高纯钛原厂检测报告,进口供货与半导体材料选型技术支持。



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